Afgekort: EUV, XUV of EUVL.
In 2017 de meest vooruitstrevende techniek om wafersteppers te produceren met behulp van ultraviolet licht.
ASML denkt in 2020 de eerste machines van deze nieuwe generatie (die chips met veel grotere rekenkracht dan de huidige generatie) te kunnen gaan verkopen.
Zie ook: Wet van Moore, high numeral apertu euv.
 Tip anderen
|
